Systém OTL-PECVD-1200PECVD se skládá z vakuové trubkové pece OTL1200, křemenné vakuové komory, radiofrekvenčního napájení, systému dodávky plynu GX, systému čerpání, vakuového měřicího systému.

Hlavní funkce:

1, přeměnit plyn v křemenné vakuové komoře na iontový stav prostřednictvím radiofrekvenčního napájení.

PECVD má nižší teplotu než běžné CVD, které je potřeba k odložení chemických plynů.

3, lze řídit velikost napětí uloženého filmu pomocí frekvence radiofrekvenčního napájení.

4, PECVD než běžné CVD pro chemickou fázi rychlost osazení vyšší, dobrá rovnoměrnost, konzistenci a stabilitu.

Široké použití pro: růst různých tenkých filmů, jako jsou: SiOx, SiNx, SiOxNy a amorphous křemík (a-Si: H) atd.

OTL-PECVD-1200 PECVD systém se švédským Kanthal rezistenčním drátem jako topným prvkem, pomocí dvouvrstvé konstrukce pouzdra a 30 sekcí programového teploměru, posunuté spouštění, ovládatelné křemíkové ovládání, pec s polykrystalickým materiálem oxidu hliníkového, trubka na obou koncích může být těsněna přírubou z nerezové oceli, na přírubě z nerezové oceli jsou nainstalovány vzduchové trysky, ventily a tlakoměry, vakuum při čerpání může dosáhnout 10-3 Pa, s vyváženou teplotou, nízkou povrchovou teplotou, rychlou rychlostí zvýšení a poklesu teploty, úsporou energie, výhodnou cenu a další výhody.

(3) dobrá rovnováha odporu a teplotního pole

(4), topné prvky: švédský Kanthal A1 dovážený odporový drát (odporový drát může slíbit 2 roky záruky)

Při přeproudění nebo úniku obvodu se prázdné otevření automaticky odpojí

Peč je vybavena komunikačním rozhraním a softwarem, který může řídit různé parametry pece přímo prostřednictvím počítače a může sledovat hodnoty teploty PV a SV na peci a provoz přístroje z počítače, skutečná oteplovací křivka pece bude vykreslena v reálném čase a může uložit data o teplotě v každém okamžiku, můžete kdykoli nastavit vakuum.

2) využití japonských technologií.

(3), vzdálenost a vzdálenost odporového drátu v peci jsou uspořádány podle nejlepší japonské technologie tepelné techniky a simulované teplotní pole pomocí tepelného softwaru

(4) 4 týdny ohřívání, teplota je vyváženější

(Všechny elektrické zařízení certifikované UL)