OTL-PECVD-1200-1400-1200 Tříteplotní zónový PECVD systém, který se skládá ze tří střídavých vakuových trubkových pecí, křemenné vakuové komory, radiofrekvenčního napájení, systému dodávky plynu GX, čerpacího systému, vakuového měřicího systému a elektrického tahového mechanismu.

Hlavní funkce:

1, přeměnit plyn v křemenné vakuové komoře na iontový stav prostřednictvím radiofrekvenčního napájení.

PECVD má nižší teplotu než běžné CVD, které je potřeba k odložení chemických plynů

3, lze řídit velikost napětí uloženého filmu pomocí frekvence radiofrekvenčního napájení

4, PECVD než běžné CVD pro chemickou fázi rychlost osazení vyšší, dobrá rovnoměrnost, konzistenci a stabilitu.

Široké použití pro: růst různých tenkých filmů, jako jsou: SiOx, SiNx, SiOxNy a amorphous křemík (a-Si: H) atd.

Tento systém PECVD pro tři teplotní zóny je systém PECVD, který dokáže rychle zahřívat a chladit, je instalován ve třech trubkových pecích s elektrickým posuvným systémem. Rychlost ohřívání a chlazení dosahuje až 100 °C/min. Pro co nejrychlejší ohřívání lze předehřívat pec na nastavenou teplotu a poté ji přesunout do vzorkového místa.Polož. Pro co nejrychlejší chlazení lze troubu po zahřátí vzorku přesunout na druhý konec. Rychlost ohřívání a chlazení je dosažitelná ve vakuovém nebo inertním plynu.10 ° C / s je PECVD systém s dvojitou teplotou pro rychlé vytápění a chlazení s nízkou cenou.

Tento systém PECVD tří teplotní zóny se švédským Kanthal odporovým drátem a křemíkovým uhlíkovým tyčem jako topnými prvky, s dvouvrstvovou strukturou pouzdra a 30 programovými teploměry, posunutým spouštěčem, ovládatelným křemíkem, pecí s japonským dováženým polykrystalickým vláknem oxidu hliníkového, trubkou s těsněním z nerezové oceli na obou koncích, na přírubách z nerezové oceli je nainstalována tryska, ventilA tlakoměr, čerpání vakua může dosáhnout 10-3 Pa, rozdělení dvou teplotních zón, dvě teplotní zóny lze nezávisle řídit, nastavit různé teploty, snadné použití, jednoduchý provoz, pec má rovnováhu teplotního pole, nízkou povrchovou teplotu, rychlou rychlost chlazení, úsporu energie a další výhody, jsou univerzity, výzkumné ústavy, průmyslové a dolní podniky, aby vysoké teploty atmosféry hoření Ideální produkt pro vazby, růst grafenu a růst různých filmů.

(1), tloušťka horkého konce křemíkové uhlíkové tyče d je 14 mm, obecný výrobce používá 12 mm, horký konec, není snadno ohýbat, tyč má nízkou povrchovou zatížení a dlouhou životnost.

（2), m délka studeného konce je 210 mm, obecný výrobce používá 180 mm, teplota horní části studeného konce je nízká.

(3), křemíková uhlíková tyč povrch oxidace nekrystalické fólie husté, může být poměrně dobrá ochrana uhlíkové tyč.

Při přeproudění nebo úniku obvodu se prázdné otevření automaticky odpojí

Atmosférická trubková pecAle...Vybaveno komunikačním rozhraním a softwarem, může řídit jednotlivé parametry pece přímo prostřednictvím počítače a může sledovat hodnoty teploty PV a SV a provoz přístroje na peci z počítače, skutečná oteplovací křivka pece bude vypracována v reálném čase a může uložit data o teplotě v každém okamžiku.

(1), vysoce kvalitní polykrystalické vlákno tvrzení pece pro vakuové filtrování.
2) využití japonských technologií.
(3), nízká tepelná kapacita materiálu pece, nízký koeficient tepelné vodivosti, čímž je nízké odvádění tepla, dobrá izolace a vysoká odráženost. Teplová rovnováha.
(4), tenký a dlouhý oxid hliníkový, odolný vůči vysokým teplotám, silná schopnost chlazení proti teplotnímu nárůstu
(5) povrch pece je čistý, není snadné odstranit prášek.

(Všechny elektrické zařízení certifikované UL)